由于工業超純水設備的產水水質比較高已被廣泛的應用于半導體、醫療、太陽能光伏、電池、電鍍、光學、玻璃、實驗室等多個行業之中。
工業超純水設備是在純水設備的基礎是對純水進行深度凈化的設備，不管是純水還是超純水高備所用的材質都差不多，只是制水的工藝配置不同，比如它們的預處理系統的罐體材質都是玻璃纖維（可按客戶需求材質來做）材質，連接管道都是PVC的。
工業超純水設備常規的制水工藝有“雙級反滲透超純水設備電導率≤5us/cm”，“單級反滲透+edi電阻率≤5Ω·m”，“雙級反滲透+edi電阻率≤10Ω·m”，“edi系統+拋光混床電阻率18.2Ω·m”。
工業超純水設備具體的工藝配置如下：
雙級反滲透超純水設備電際率≤5us/cm的制水工藝： 原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+雙級反滲透系統+超純水箱。
單級反滲透+edi電阻率≤5Ω·m的制水工藝： 原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+軟化系統+單級反滲透系統+edi系統+超純水箱。
雙級反滲透+edi電阻率≤10Ω·m的制水工藝： 原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+雙級反滲透系統+edi系統+超純水箱。
edi系統+拋光混床電阻率18.2Ω·m”的制水工藝：原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+雙級反滲透系統+edi系統+拋光混床+超純=水電阻率18.2Ω·m
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