隨著現代科技的發展,人們對工業用水提出的要求越來越高。電子工業用水、電廠發電鍋爐用水、醫療及制藥工業用水、以及實驗室高精密度儀器分析用水等均對水質有極其嚴格的要求, 其中電子芯片清洗水水質要求已經接近于理論純水的指標。
電子行業用超純水設備采用多介質過濾器、活性炭過濾器作及保安過濾器作為前級處理的設計，有效除去原水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質，使經過離子交換處理后的水質符合工業生產要求。在經過后端進行精處理系統(混床系統)，使其產水水質滿足生產用水的要求.
電子行業用超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、真正做到了無人值守。
水處理行業傳統的高純水生產技術都必須采用反滲透+混床離子交換法, 這種配置的超純水設備操作復雜、酸堿污染、產水成本高。現在都采用更先進的edi來取代混床離子交換樹脂, 不僅提高了對水中各種強雜質的脫除率, 而且對產品水中的弱電解質具有較強的去除能力。 這種配置能夠連續穩定地制取高品質產水, 產水脫鹽率大于99.9%，產水電阻率在1MΩ.cm—18MΩ。
電子行業用超純水設備的預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器及軟化器過濾系統，預處理的作用主要是去除水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質，以確保進水要求，減少工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。
1：高效節能，因為反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。
2：穩定可靠。采用膜法工藝及多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質。
電子行業用超純水設備的制水工藝：
1：采用離子交換方式：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2：采用反滲透水處理設備與離子交換方式為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3：采用反滲透EDI方式工藝為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點。
電子行業用超純水設備各主要部件的作用
原水泵：
解決原水水壓力不穩定，滿足預處理進水壓力恒定，流量充足，確保RO系統正常運行。
石英砂過濾器：
石英砂過濾器是玻璃鋼材質的壓力式過濾容器，耐壓 6kg/cm2，是一種先進的微絮凝過濾方式，罐內填裝高耐磨精制石英砂，可攔截原水殘留少量細小的泥沙、雜質、膠狀物體、懸浮物等藻類可見物，對原水中的濁度、色度起到降低作用，濾除不溶于水中的（氧化物、濁度、顆粒物等）雜質，特別是在降低原水中的濁度、污染指數等方面具有很好的效果。
活性炭過濾器：
活性炭過濾器是玻璃鋼材質的壓力式過濾容器，耐壓 6kg/cm2，內裝凈水專用顆粒碳，用于吸附水中色素、有機物、余氯、異味、沉積的重金屬離子、去除由鐵、脫氯、使余氯含量≤1PPM。是水深度處理中不可缺少的材質。
去色：可去除原水中由鐵、錳及植物分解的有機污染物所形成的色度。
去除有機物：可去除原水中微量污染物，如農藥，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD 與 COD 等。
去除有機氯：可去除原在自來水出廠前投加預氧化劑和消毒劑（如氯氣）所產的 THMS 等“三致”物質及余氯所造成的嗅味。
去除氨氮和亞硝酸鹽：活性炭可有效去除氨氮、亞硝酸鹽、余氯或氧化劑：保護反滲透膜。
除臭：去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質等。
精密過濾器：
精密過濾器外殼為不銹鋼材質，內裝過濾精度5us的溶噴PP棉、可攔截預處理流入的雜質、防止原水內的顆粒物在高流速下穿刺或劃傷RO反滲透膜表面的脫鹽層及過早堵塞、保證進入RO膜的水干凈清澈、延長RO膜的壽命。
高壓泵的作用：
高壓泵采用立式多級特種離心泵，為反滲透系統提供恒定的動力，確保壓力穩定，流量充足，保證反滲透系統的正常運行，高壓泵進水口前裝有水位壓力保護裝置，當進水壓力異常時高壓泵停止運行，以免干轉燒壞高壓泵。
RO反滲透系統
通過高壓泵對過原水施加大于滲透壓的壓力，利用 RO 膜的分離技術，有效分離出原水中大于 200 的幾乎包括所有顆粒、膠體、有機雜質、微生物等有害物及 99%的溶解鹽，達到脫鹽純化的目的，使純水電導率≤10us,(原水質≤300us)。
反滲透技術制純水與傳統的離子交換、蒸餾技術制純水相比，有設備體積小、能耗低、適應性強、無需酸堿再生劑、工藝簡單、易實現自動化、產水質量優良、水質穩定、無微生物、無重金屬離子、無有機化合物等優點。排放的濃水對環境無害，是一項符合環保要求的分離技術。
EDI系統：
EDI（Electrodeionization）又稱連續電除鹽技術，是將電滲析技術和離子交換技術融為一體，通過陽、陰離子膜對陽、陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現水中離子的定向遷移，從而達到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續再生，EDI與傳統的離子交換相比較，EDI在制水過程不需酸、堿化學藥品再生即可連續制取高品質超純水，它具有技術先進、出水水質穩定、結構緊湊、操作簡便等優點。
電子行業用超純水設備已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。
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